Расчет технологической точности пленочных элементов микросхем.
В основу расчета точности положены функциональные связи выходных параметров пассивных тонкопленочных элементов с электрофизическими параметрами пленок и геометрическими размерами.
R=R– 
Расчет резисторов
| № | R   , Ом
| R–, Ом | L, мм | B, мм | Среднестатистические параметры | |||||
| R–, Ом | 3sR, Ом | Lср, мм | 3sLср, мм | Bср, мм | 3sBср, мм | |||||
| R1 | 6800 10
| 500±25 | 2,8 | 0,4 | 2,7 | 0,04 | 0,2 | 0,02 | ||
| R4 | 2700 10
| 500±25 | 1,7 | 0,6 | 1,6 | 0,034 | 0,2 | 0,022 | ||
| R7 | 1000 10
| 500±25 | 1,0 | 0,7 | 1,0 | 0,032 | 0,3 | 0,015 |
Для R1:
(R–)ту = 25 Ом
(L)ту = 0,020мм
(В)ту = 0,020 мм
Для R4:
(R–)ту = 25 Ом
(L)ту = 0,020 мм
(В)ту = 0,020 мм
Для R7:
(R–)ту = 25 Ом
(L)ту = 0,020 мм
(В)ту = 0,020 мм
1)Определим коэффициент рассеяния:
, i = R–, L, B
Для R1:
KR–=23/25=0,94
KL=0,04/0,02=2
KB=0,02/0,02=1
Для R4:
KR–=22/25=0,88
KL=0,034/0,02=1,7
KB=0,022/0,02=1,1
Для R7:
KR–=21/25=0,84
KL=0,032/0,02=1,6
KB=0,015/0,02=0,75
2)Определим случайные относительные погрешности выходного параметра:
R– = 5%
Для R1:
L=0,02*100/2,7=0,74
B=0,02*100/0,2=10
ὲ=±10,12%
Для R4:
L=0,02*100/1,6=1,25
B=0,02*100/0,2=10
ὲ=±11,26
Для R7:
L=0,02*100/1,0=2
B=0,02*100/0,3=6,67
ὲ=±5,94%
Так как допуск в нашем случае равен ±10%, а выходные параметры R7 не превышают этот показатель, отсюда следует что, процент выхода годных будет равен 100%.
3) Определим выход годных для R1 и R4:
Для R1:
3δ = ±10,12
δ = ±10,12/3 = ±3,73
Pr = Ф*(10/δ) – Ф*(-10/δ) = Ф*(10/3,73) - Ф*(-10/3,73) = Ф*(2,68) - Ф*(-2,68) = 0,9965 – 0,0035= 0,993
Пр = Pr ∙ 100% = 0,993 ∙ 100% = 99,3%
|
|
|
Допуск для R1 равен 10%, а выходной параметр превышает этот показатель, отсюда следует, что процент выхода годных для R1 = 99,3%
Для R4:
3δ = ±11,2
δ = ±11,2/3 = ±3,73
Pr = Ф*(10/δ) – Ф*(-10/δ) = Ф*(10/3,73) - Ф*(-10/3,73) = Ф*(2,68) - Ф*(-2,68) = 0,9965 – 0,0035= 0,993
Пр = Pr ∙ 100% = 0,993 ∙ 100% = 99,3%
Допуск для R4 равен 10%, а выходной параметр превышает этот показатель, отсюда следует, что процент выхода годных для R4 = 99,3%
4) Рассчитаем погрешности выходного параметра:
Для R1:
MR= 1* (Rср-RH)/ R– +1*(Lcp-LH)/ LH - 1* (Вср-Вн)/ Вн
MR= 0-0,35-0=-0,35
W=-,035 ±10,12
Yизг=6800±688 Ом
Ymin=7488 Ом Ymax= 6112Ом
Для R4:
Рассчитаем погрешности выходного параметра:
MR= 1* (Rср-RH)/ R– +1*(Lcp-LH)/ LH - 1* (Вср-Вн)/ Вн
MR= 0-0,05+0,67=0,72
W=0,72 ±11,26
Yизг=2700±304 Ом
Ymin=3004 Ом Ymax= 2396 Ом
Для R7:
Рассчитаем погрешности выходного параметра:
MR= 1* (Rср-RH)/ R– +1*(Lcp-LH)/ LH - 1* (Вср-Вн)/ Вн
MR= 0+0-0,4=0,4
W=0,4 ±5,94
Yизг=1000±59,4 Ом
Ymin=1060 Ом Ymax= 941 Ом
Характеристика детали технологического приспособления
Сталь (польск. stal, от нем. Stahl) — деформируемый (ковкий) сплав железа с углеродом (и другими элементами), характеризующийся эвтектоидным превращением. Содержание углерода в стали не более 2,14 %, но не менее 0,022 %. Углерод придаёт сплавам железа прочность и твёрдость, снижая пластичность и вязкость.
|
|
|
Учитывая, что в сталь могут быть добавлены легирующие элементы, сталью называется содержащий не менее 45 % железа сплав железа с углеродом и легирующими элементами (легированная, высоколегированная сталь).
Сталь — важнейший конструкционный материал для машиностроения, транспорта, строительства и прочих отраслей народного хозяйства.
Стали с высокими упругими свойствами находят широкое применение в машино- и приборостроении. В машиностроении их используют для изготовления рессор, амортизаторов, силовых пружин различного назначения, в приборостроении — для многочисленных упругих элементов: мембран, пружин, пластин реле, сильфонов, растяжек, подвесок.
Список литературы
1.Парфенов О. Д. Технология микросхем. Москва, Высшая школа,1986г.
2.Технология интегральных схем частого применения.
Под ред. Алимовой Р.А., Казань 1979г.
3. Валитова Ф. К. Технологические процессы микроэлектроники. Пособие по курсовому проектированию, Казань 2001г.
4. Справочник. Технология тонких плёнок. Под ред. Л. Майссесела Р. Гленга. М. 1977 г.
5. Курс лекций.
Приложение
Дата добавления: 2015-12-21; просмотров: 126; Мы поможем в написании вашей работы! |
Мы поможем в написании ваших работ!