Изучение спектров пропускания углеродных пленок в зависимости от напряжения смещения на подложке.
Мередова Марина, 11 класс,
СУНЦ НГУ, г. Новосибирск
Углеродные пленки являются перспективным материалом для широкого технического применения, например в качестве оптических покрытий. Поэтому важно знать характер спектров пропускания пленок, полученных при разных условиях, для того, чтобы определить насколько эффективным является покрытие с точки зрения прохождения света.
Цель работы: определить влияние напряжений смещения на подложке на оптические спектры пропускания углеродных пленок, полученных в тлеющем разряде. Углеродные пленки осаждались в плазме тлеющего разряда постоянного тока в парах этанола. Разряд зажигался в кварцевой трубке между расположенными внутри электродами – цилиндрическим латунным анодом и сеточным катодом из нержавеющей стали. Стеклянная подложка устанавливалась на держателе подложек, который располагался непосредственно за сеточным катодом. Таким образом, часть ионов, летящих из разряда к катоду, пролетала сквозь сетку и формировала пленку на подложке. Перед процессом осаждения подложки обрабатывались ионами аргона. Осаждение производилось в течение часа при расстоянии между подложкой и катодом 0,3 см. Давление паров этанола составляло 0,15 торр. В каждом эксперименте с блока питания подавалось напряжение 1500 В. На держатель подложек подавались напряжения смещения: -50, -100, -150, -200 В. Также получена пленка, когда держатель был заземлен. Напряжение смещения позволяет ускорить ионы, пролетающие сквозь катод, поскольку катод заземлен (имеет нулевой потенциал), а держатель подложки имеет отрицательный потенциал. Тем самым мы способствуем дополнительному притоку на подложку ускоренных ионов.
|
|
|
Спектры пропускания света осажденных пленок снимались на спектрофотометре Shimadzu UV 3600 в диапазоне от 300 до 3000 нм. В результате работы определено влияние напряжений смещения на подложке на характер оптических спектров пропускания. Выявлено, что наибольшим пропусканием (примерно 70 %) и наибольшим диапазоном пропускания (380-3000 нм) обладает пленка, полученная при нулевом потенциале на держателе. Пленка, полученная при напряжении смещения -100 В имеет наименьшее пропускание (примерно на уровне 40 %) и наименьший диапазон пропускания (500-3000 нм).
Научный руководитель – инженер КОФ ФФ НГУ, ст. преп. кафедры физики СУНЦ НГУ С. Ю. Чепкасов
Дата добавления: 2015-12-21; просмотров: 18; Мы поможем в написании вашей работы! |
Мы поможем в написании ваших работ!