Расчет проводимости трубопровода (г)
Расчет высоковакуумной магистрали
Определение стационарного газового потока
,
где 
- поток газа, определяющийся технологическим выделением газа из нагреваемых элементов внутрикамерных устройств,
- натекание через уплотнения рабочей камеры,
- диффузное газовыделение,
- газовыделение от подложки.
,
,
, где 
- газовыделение рабочей камеры,
, [лит-ра 2, стр. 64–65]
- внутренняя поверхность камеры,
где 
- размеры рабочей камеры,
-размеры присоединительного фланца;
,
, где 
- удельное газовыделение материала (Cu) при
заданной температуре, [см. лит-ра 3, стр. 471, приложение]
,
- объем подложкодержателя,
- плотность меди,
, [см. лит-ра 4, стр. 115, табл38]
- время газовыделения;
.
Тогда стационарный газовый поток равен
.
Предварительный выбор высоковакуумного насоса
Ориентировочная быстрота откачки рабочей камеры диффузионным насосом
.
Быстрота действия диффузионного насоса
,
.
По быстроте действия в диапазоне впускных давлений 
выбираем насос НВД-1400 с характеристиками (литература 2, стр. 254, табл. 10.6):
Быстрота действия 
.
Предельное остаточное давление 
.
Наибольшее выпускное давление 
.
Расход охлаждающей воды 
.
Мощность электронагреватель 2,2 кВт.
Габаритные размеры 
.
Масса 
.
Объем масла 
.
Условный проход фланца:
входного 
.
выходного 
;
Требуемая быстрота действия форвакуумного насоса 
.
|
|
|
Расчет проводимостей и выбор элементов высоковакуумной магистрали
Расчет проводимости шевронно-конической ловушки
, где 
- удельная проводимость ловушки
- (литер. 2, стр. 258, табл. 11.1),
- площадь входного отверстия ловушки
,
- задаваемый размер.
.
Проверим режим течения в ловушке:
давление в ловушке:
, где 
- давление на входе в насос 
,
– быстрота действия насоса,
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Расчет проводимости трубопровода (е)
Задаем диаметр трубопровода 
.
Проводимость участка
. [литер. 2, стр. 41, формула. 3.58]
Найдём отношение 
[литер. 2, стр. 41, табл. 3.3],
.
Проверим режим течения в трубопроводе (е):
давление в трубопроводе:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Проводимость затвора 
Выбираем затвор РСУ 1 А -200 [литер. 2, стр. 109, табл. 7.1] с проходным диаметром 
и проводимостью 
.
Проверим режим течения в затворе
давление в затворе:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Расчет проводимости трубопровода (д)
Задаем диаметр трубопровода 
.
Проводимость участка
.
Найдём отношение 
[литер. 2, стр. 41, табл. 3.3],
.
Проверим режим течения в трубопроводе (д):
|
|
|
давление в трубопроводе:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Расчёт проводимости вдоль заливной ловушки
Внешний диаметр ловушки 
, внутренний диаметр ловушки 
,
длина ловушки 
.
Для цилиндрического трубопровода с коаксиальным расположением стержня проводимость вычисляется
.
Проверим режим течения в заливной ловушке
давление в заливной ловушке:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Расчет проводимости трубопровода (г)
Задаем диаметр трубопровода 
.
Проводимость участка
.
Найдём отношение 
(литер. 2, стр. 41, табл. 3.3),
.
Проверим режим течения в трубопроводе (г)
давление в трубопроводе:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Проводимость затвора 
Выберем затвор [литер. 2, стр. 109, табл. 7.1] такой же как и 
с проходным диаметром и проводимостью 
.
Проверим режим течения в затворе
давление в затворе:
.
Выражение 
– режим молекулярный.
Дата добавления: 2019-07-15; просмотров: 767; Мы поможем в написании вашей работы! |
Мы поможем в написании ваших работ!